Eau ultrapure pour la microélectronique

Secteur industriel - Microélectronique

Des solutions complètes pour l’eau Ultrapure

Marcor Purification a plusieurs dizaines d’années d’expériences dans la fabrication de filtres dans le secteur très exigeant des dispositifs médicaux. Ceci confère un regard pertinent sur le contrôle de la contamination et sur les systèmes de purification rencontrés dans l’industrie des semi-conducteurs. Nous ne considérons pas la contamination comme inévitable. Nous considérons plutôt comme normal les systèmes décontaminés et leurs protections comme objectif principal

 
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Normes de l’industrie des semi-conducteurs

Les normes et spécifications, utilisées pour évaluer la pureté de l’eau dans la fabrication des semi-conducteurs, sont essentiellement fondées sur la mesure de particules et sur la contamination par le Carbone Organique Total (TOC).La recherche commence juste sur les sources de ces polluants et la possible existence d’autres types de particules dans le système d’eau pure. Mais, ces polluants ne sont actuellement pas détectables par les compteurs de particules classiques ou les techniques de mesure du TOC.

Efficacité des filtres FiberFlo®

La conception traditionnelle des filtres utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs consiste en une membrane généralement plissée ou bobinée. La plupart des systèmes d’eau ultrapure sont équipés de filtres à membrane plissée comme filtres terminaux des boucles d’eau ultrapure et dont la finesse de filtration se situe entre 0,02 µm et 0,04 µm.

Afin de comparer la technologie à fibres creuses et la technologie membranaire, des filtres à membranes plissées de 0,02 et 0,03 µm en PolyEtherSulfone (PES) et PolySulfone (PS) ainsi que des FiberFlo® 50 (0,05 µm) ont été installés dans un équipement d’osmose inverse. Leurs efficacités de filtration ont été mesurées avec un compteur de particules en ligne de type UDI3. Les résultats, indiqués ci-dessous, montrent que les filtres FiberFlo® 50 sont aussi efficaces et même plus performants que des filtres à membrane plissée pour la rétention de trois tailles de particules.

 
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Les données ci-dessus prouvent la haute efficacité des filtres à fibres creuses pour la rétention des particules. De plus, la qualité des filtres à fibres creuses, fabriqués selon les normes des dispositifs médicaux, est facilement démontrée. Les tests effectués chez JAZZ Semiconductor (anciennement Conexant) montrent que les filtres à fibres creuses FiberFlo® 50 éliminent plus rapidement, par rinçage, les particules et TOC. Les graphiques ci-contre montrent les résultats de test.

 
 

SOLUTION COMPLÈTE

Récemment, l’industrie des semi-conducteurs a admis qu’il est plus important de contrôler la génération de contaminants dans les systèmes d’eau pure que de prévenir le transfert de ces contaminants vers les outils de production. Les sources de contamination, provenant de l’utilisation de filtre à sable et de charbon actif de mauvaise qualité jusqu’au développement de biofilm dans les boucles d’eau ultrapure, peuvent provoquer des ravages aux systèmes de fabrication des semi-conducteurs. Cependant, la détection de biofilm est quasiment impossible avec les outils de contrôles des particules et du TOC. Avant que le biofilm ne commence à se désagréger, aucun TOC ne sera généré. Le biofilm, par définition pourrait-on dire, se fixera sur les parois de la tuyauterie et des équipements, et restera indétectable avec un système de contrôle de particules.

MAR COR PURIFICATION propose une solution complète contre les biofilms. Premièrement, notre équipe de microbiologistes peut déterminer la nature du biofilm et ses possibles sources ; et ce grâce à nos années d’expériences dans l’évaluation des boucles d’eau de l’industrie médicale.

Deuxièmement, notre produit Minncare Cold Sterilant, homologué par l’EPA, respectueux de l’environnement, est conçu spécifiquement pour la rétention rapide, efficace et sûre des biofilms dans les équipements d’eau pure.

Enfin, nos filtres FiberFlo® 50 apportent un efficace contrôle des particules, sans égal, et une surface de filtration de 50% supérieure aux filtres plissés. Une surface supérieure signifie moins de filtres pour un même débit, permettant ainsi de réaliser des économies. Les filtres à fibres creuses en PolySulfone FiberFlo® 50 (0,05 µm) constituent une solution unique de la filtration des particules dans l’industrie des semi-conducteurs. Chaque lot de fibres produit est contrôlé par un challenge en billes de latex et l’effluent est analysé par un microscope à balayage électronique (SEM) afin de vérifier la taille des pores. Chaque produit est étiqueté avec le numéro de lot, sa référence et le seuil de filtration. Chaque produit est compatible avec le Minncare Cold Sterilant.

Les filtres FiberFlo® 50 possèdent une autre caractéristique unique, que l’on ne trouve pas pour les autres filtres. Les filtres FiberFlo® 50 ont la capacité prouvée de réduire le Carbone Organique total à travers la rétention des endotoxines dans l’eau. En effet, les endotoxines, ou les résidus de cellules mortes, sont un composant du Carbone Organique Total. Chaque lot de fibre est testé selon un challenge avec des endotoxines pour vérifier la conformité de rétention des endotoxines. La procédure de test est disponible sur demande.

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